专利名称：红外探测器像元结构及其制备方法专利类型：发明专利发明人：康晓旭,赵宇航申请号：CN2016105866.4申请日：20160718公开号：CN106124059A公开日：20161116
摘要：本发明提供了一种红外探测器像元结构及其制备方法，通过在硅衬底底部键合键合衬底，利用键合衬底中的红外吸收层来吸收部分的红外光，在硅衬底中设置填充有红外敏感气体的密闭空腔，在密闭空腔上键合压电转换结构，当红外敏感气体吸收到红外光发生膨胀时，会挤压压电部件，导致压电转换结构产生的压电信号发生变化，从而实现对红外光的探测。
申请人：上海集成电路研发中心有限公司
地址：201210 上海市浦东新区张江高斯路497号
国籍：CN
代理机构：上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
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