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平面异质器件[发明专利]

来源:智榕旅游
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:平面异质器件专利类型:发明专利发明人:K·俊,P·莫罗

申请号:CN201380081026.7申请日:20131218公开号:CN105745737A公开日:20160706

摘要:在实施例中,第二半导体层被转移(例如,使用层转移技术)到第一半导体层的顶部上。第二层被图案化成期望的阱。在这些阱之间,暴露第一层。所暴露的第一层外延生长到所转移的第二层的水平高度,以完成包括S1和S2两者的平面异质衬底。可以利用异质材料,以使得例如由III?V材料或IV材料的其中之一构成的P沟道器件与由III?V材料或IV材料的其中之一构成的N沟道器件共面。实施例不需要晶格参数符合,这是因为第二层被转移到第一层上。此外,不存在(或存在很少)缓冲体和/或异质外延。本文中还描述了其它实施例。

申请人:英特尔公司

地址:美国加利福尼亚

国籍:US

代理机构:永新专利商标代理有限公司

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