专利名称：真空设备的感测装置专利类型：实用新型专利
发明人：黄泳钊,郑博仁,谢昆山,张延任申请号：CN201120218615.3申请日：20110623公开号：CN202126508U公开日：20120125
摘要：一种真空设备的感测装置，包含一个设置在一个腔体的一个第一腔壁的一个外壁面上的接收器，以及一个设置在该腔体的一个第二腔壁的一个外壁面上的发射器；该发射器能发出至少一束能直线前进至该接收器，或以夹角小于90度的方式入射该基板的一个板面且因而受阻无法直进至该接收器的光线。本实用新型主要是利用该接收器与该发射器分别设置在该第一腔壁的外壁面与该第二腔壁的外壁面上，配合该接收器、该基板与该发射器间所构成的特殊相对位置关系，让整体的维护成本低，且能长期维持精确的感测效率。
申请人：北儒精密股份有限公司
地址：中国台湾台南市新市区环东路二段23号
国籍：CN
代理机构：上海一平知识产权代理有限公司
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