一种辅助硬通孔掩膜版和样品进行精确对准的装置[实用新型专利]

来源：智榕旅游

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种辅助硬通孔掩膜版和样品进行精确对准的装置专利类型：实用新型专利

发明人：包文中,昝武,郭晓娇,胡荣民,周鹏申请号：CN201821468721.5申请日：20180910公开号：CN208690229U公开日：20190402

摘要：本实用新型属于薄膜材料技术领域，具体为一种辅助硬通孔掩膜版和样品进行精确对准的装置。装置包括：样品托盘、载物圆盘、掩膜版吸附头、位移调节装置，显微镜等；其中，载物圆盘具有旋转调整自由度，载物圆盘旋转带动样品托盘旋转，从而精确控制样品旋转角度；位移调节装置具有X、Y、Z三轴的旋转和水平调整自由度；通过位移调节装置可以精确调整通孔硬掩膜版的位置；本整个装置结构简单，操作方便，对准精度高，具有很强的实用性。在一定程度上替代了光刻的功能，避免了光刻过程中光刻胶对样品产生影响，非常适合有机材料或者二维材料（石墨烯等）等薄膜材料的器件加工。

申请人：复旦大学

地址：200433 上海市杨浦区邯郸路220号

国籍：CN

代理机构：上海正旦专利代理有限公司

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