专利名称：二维和三维一体化成像测量系统专利类型：发明专利
发明人：卢荣胜,董敬涛,史艳琼,夏瑞雪,陈琳申请号：CN201210006565.1申请日：20120110公开号：CN102589463A公开日：20120718
摘要：本发明公开了一种二维和三维一体化成像测量系统，其特征是由像散自动对焦单元、光源单元、Linnik干涉单元和图像接收单元构成。本发明以固定的系统架构，集成了多种先进的成像技术，可以高效的应对各种精密测量的要求，主要运用于微零件结构的二维几何参数测试，MEMS、IC和光学微器件的加工、质量和表面形貌的检测，以及生物组织医学测量等。
申请人：合肥工业大学
地址：230009 安徽省合肥市屯溪路193号
国籍：CN
代理机构：安徽省合肥新安专利代理有限责任公司
代理人：何梅生
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