一种用于电镀工艺过程中的废气处理系统及其工作方法[发明专利]

来源：智榕旅游

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种用于电镀工艺过程中的废气处理系统及其工作

方法

专利类型：发明专利发明人：金驰

申请号：CN201911007488.X申请日：20191022公开号：CN110917841A公开日：20200327

摘要：本发明涉及一种用于电镀工艺过程中的废气处理系统及其工作方法，包括：处理腔室、处理器；处理腔室包括抽气模块、反应模块；处理腔室上设置有导气口，导气口贯通处理腔室；抽气模块包括循环泵、抽气管道；抽气管道上设置有若干第一进气口；抽气管道内设置有抽气内管道，抽气管道套设于抽气内管道外，抽气内管道上设置有第二进气口；反应模块包括光化学反应装置、氧化装置、触媒层；触媒层设置于第二进气口上，触媒层用于覆盖第二进气口，电镀废气穿过触媒层并与触媒层进行反应；光化学反应装置环绕第二进气口的内侧设置；氧化装置设置于抽气内管道中，氧化装置包括氧化喷头与输液管道，氧化喷头与处理器连接。

申请人：金驰

地址：2100 江苏省苏州市太仓市德兴一村58栋402室

国籍：CN

代理机构：北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：郭智

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