专利名称：有机金属化合物、方法及使用方法专利类型：发明专利
发明人：D·M·汤普森,J·吉尔里,A·R·拉瓦,J·E·多明格斯申请号：CN200910005991.1申请日：20090124公开号：CN101503429A公开日：20090812
摘要：本发明涉及有机金属化合物、方法及使用方法。本发明涉及具有式LML的有机金属化合物，其中M是金属或准金属，L是取代或未取代的阴离子6电子给体配体，并且L是取代或未取代的阴离子6电子给体配体，其中L和L是相同的或不同的，制备有机金属化合物的方法，以及由有机金属化合物产生膜或涂层的方法。所述有机金属化合物可作为膜沉积的化学蒸气或原子层沉积前体而用于半导体应用中。
申请人：普莱克斯技术有限公司
地址：美国康涅狄格州
国籍：US
代理机构：中国专利代理(香港)有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容