专利名称：一种柔性薄膜压力传感器的制备方法专利类型：发明专利
发明人：蒋书文,于江涛,肖瑶,术洋溢,张万里申请号：CN201910197636.2申请日：20190315公开号：CN109945999A公开日：20190628
摘要：一种柔性薄膜压力传感器的制备方法，属于压力传感器制备技术领域。包括：1)在柔性基板上形成电极层；2)将导电填料加入有机溶剂中，混合均匀，得到混合液A；然后，在混合液A中加入高分子基体材料和改性剂，混合均匀，得到浆料；3)搅拌，得到的复合浆料采用丝网印刷的方法涂覆于带电极层的柔性基板上，得到具有表面微结构的敏感层；4)将两个带敏感层和电极层的柔性基板相对放置，封装，得到所述柔性薄膜压力传感器。本发明得到的柔性薄膜压力传感器，灵敏度高(>5kPa)，测量范围宽(50Pa～1.5MPa)，响应时间短(5～30ms)，在电子皮肤、人体生物信号检测、振动信号检测方面具有良好的应用前景。
申请人：电子科技大学
地址：611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
国籍：CN
代理机构：电子科技大学专利中心
代理人：吴姗霖
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