专利名称：一种单晶炉排气装置专利类型：实用新型专利发明人：周浩
申请号：CN201120574911.7申请日：20111231公开号：CN202415734U公开日：20120905
摘要：本实用新型实施例公开了一种单晶炉排气装置，该排气装置包括：设置在保护层上方的反射板，所述反射板设置在所述加热器的正下方；其中，所述反射板包括上下反射板，并且该反射板上设置有贯穿上下反射板的通孔，所述通孔内设置有导气管，所述导气管与靠近反射板的炉体抽气口连通，并且，所述导气管的形状和大小与所述通孔的形状相匹配。在进行排气时，硅蒸汽直接通过与所述抽气口连通的导气管排出炉体，即硅蒸汽从反射板上方排出炉体的，从而避免了硅蒸汽在反射板下方工件附件的凝结；同时，避免了排气时反射板对气流的遮挡，从而保证了排气时气流的通畅，避免了炉内气体压强产生较大的波动，保证单晶硅的产品质量。
申请人：英利能源(中国)有限公司
地址：071051 河北省保定市朝阳北大街3399号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：逯长明
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