一种单晶炉侧排气装置[实用新型专利]

来源：智榕旅游

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种单晶炉侧排气装置专利类型：实用新型专利

发明人：王辉,吴桂松,孙学军,王鹏,张经行,刘建军,党文全,许

生发,魏光艳

申请号：CN201721106030.6申请日：20170830公开号：CN207143368U公开日：20180327

摘要：本实用新型提供了一种单晶炉侧排气装置，包括：过滤罐、真空泵和收集罐，所述真空泵设置在过滤罐的出口，所述收集罐设置在过滤罐下方，并且过滤罐相通，所述过滤罐包括过滤罐盖、内筒、滤网、毛刷和传动机构，所述过滤罐盖设置在过滤罐上，所述内筒周向均布在所述过滤罐内，所述滤网固定在内筒上，所述毛刷设置在内筒中，过滤罐体的下面设有出气口，过滤罐体的侧面设有进气口。本实用新型所述的一种单晶炉侧排气装置结构简单，进气管气体进入过滤器后所有的杂质被过滤，需要清理时，可以由毛刷自动清理，大大提高了单晶炉的利用效率，同时一氧化硅还能收集起来，经济效益显著。

申请人：青海鑫诺光电科技有限公司

地址：810000 青海省西宁市西宁经济技术开发区东川工业园区金鑫路9号

国籍：CN

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文