专利名称：高精度检测平面光学元件面形的方法专利类型：发明专利
发明人：弥谦,张锦,刘丙才,潘永强,赵昊天申请号：CN201710629243.5申请日：20170728公开号：CN107462188A公开日：20171212
摘要：本发明涉及高精度检测平面光学元件面形的方法，步骤包括：标准平晶平行放置于被测光学元件平面上方，入射光束是椭圆偏振光，其以一定角度由标准平晶一侧入射，通过标准平晶下表面和被测玻璃元件上平面多次透射、反射，反射光束发生多光束干涉形成新的椭圆偏振光，通过对出射椭圆偏振光的长短轴方向及振幅大小的检测，可以得到被测光学元件同标准平晶的间距，得到被测平面光学元件的面形。本发明采用整形为线形结构的激光光源和线阵接收器，线阵结构通过扫描就可以实现高精度玻璃元件平面面形的测量；可以保证被测玻璃元件平面面型的测量精度在6nm以内。
申请人：西安工业大学
地址：710032 陕西省西安市未央区学府中路2号
国籍：CN
代理机构：西安新思维专利商标事务所有限公司
代理人：黄秦芳
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