专利名称：一种气体传感器芯片专利类型：发明专利发明人：禹胜林
申请号：CN201410644563.4申请日：20141114公开号：CN104407034A公开日：20150311
摘要：本发明公开了一种气体传感器芯片，由第一层至第四层共四层压电基片叠压而成，所述第一层压电基片上设置有参比气体通道；所述第一层压电基片和第二层压电基片之间设置有参比电极，所述参比气体通道与所述参比电极相连通；所述第二层压电基片和第三层压电基片之间设置有加热电极，所述第二层压电基片上涂覆有气体敏感膜，所述气体敏感膜为对相应的气体具有吸附和解吸附性能的聚合物膜；所述第三层和第四层压电基片之间还设有一对柔性电极对和传感层，所述传感层设于所述的柔性电极对之间。本发明具有灵敏度高，响应快，选择性好，结构简单，寿命长等特点；提高了传感器的敏感性能。
申请人：无锡信大气象传感网科技有限公司
地址：214135 江苏省无锡市无锡国家高新技术产业开发区菱湖大道97号创新研发楼二期南楼101室
国籍：CN
代理机构：南京经纬专利商标代理有限公司
代理人：张惠忠
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