专利名称：集成式计量系统专利类型：实用新型专利
发明人：亚历克斯·希施曼,贝尼·舒尔曼,艾戈尔·施瓦茨曼申请号：CN202020329249.8申请日：20200316公开号：CN211928102U公开日：20201113
摘要：本申请公开了一种用于评估半导体晶圆的集成式计量系统，其包括主体，主体包括光学头部和光源；其中，光源定位在主体的下部分处，并且其中，光学头部定位在主体的上部分处，并且其中，光学头部经由光学路径光学地耦接到光源，光学路径包括光学线缆。本申请的集成式计量系统是紧凑的、易于维修并能执行高度精确的计量处理。
申请人：诺威量测设备股份有限公司
地址：以色列雷霍沃特
国籍：IL
代理机构：北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人：刘凤迪
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