专利名称：一种以Zn膜为基材直接制备N掺杂ZnO薄膜的方法专利类型：发明专利
发明人：彭寿,王芸,沈洪雪,彭程申请号：CN201210469096.7申请日：20121120公开号：CN102925856A公开日：20130213
摘要：本发明公开一种以Zn膜为基材直接制备N掺杂ZnO薄膜的方法，包括以下步骤：选用清洁Si片作为衬底材料，以纯度99.99%的金属锌作为溅射靶材；当溅射腔室中真空度达到1.0×10Pa时，通入氩气对衬底进行清洗；清洗完成后，进行离子束镀膜；离子束沉积得到的Zn膜在气氛炉中进行N、O混气退火处理直接得到N掺杂ZnO薄膜。本发明直接以氩气为溅射气体，不加入其他气体，可控性强，Zn膜在气氛炉中进行N、O混气退火处理直接得到N掺杂ZnO薄膜，方法简单，操作性强，重复性好；检测数据显示，薄膜晶体质量很好，N掺杂量较多，空穴载流子浓度较高，满足P型膜的要求。
申请人：蚌埠玻璃工业设计研究院,中国建材国际工程集团有限公司
地址：233010 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
国籍：CN
代理机构：安徽省蚌埠博源专利商标事务所
代理人：倪波
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